美國MKS高濃度臭氧發生器介紹

LIQUOZON?溶解臭氧輸送系統

LIQUOZON?溶解臭氧輸送系統- LIQUOZON?臭氧化水輸送系統具有經過現場驗證的SEMOZON?臭氧產生技術，可實現臭氧氣體在水中的溶解效率，控制(包括溶解臭氧濃度的閉環控制)和臭氧破壞裝置，可將剩余臭氧氣體安全重新轉化為氧氣。LIQUOZON溶解臭氧輸送系統封閉在通風柜中，符合SEMI S2和CE標準。LIQUOZON HeliO3是專為太陽能應用而設計的，如清潔，表面調節和氧化物生長。該系統是臭氧和/或化學混合物(如酸與臭氧)濕處理的強大來源。LIQUOZON Stream還設計用于濕式晶圓加工，特別是在多室單晶圓工具中，其應用要求高達140 lpm的流量和115 - 25 ppm的臭氧濃度。

SEMOZON臭氧氣體發生器

SEMOZON臭氧氣體發生器- SEMOZON臭氧氣體發生器和子系統是緊湊，高濃度，超清潔臭氧氣體產生的行業標準。應用包括原子層沉積(ALD)，化學氣相沉積(CVD)，清潔和水處理。SEMOZON AX8415發生器的新穎架構和電池設計將氧氣轉換為>400 g/Nm3的高濃度臭氧，用于半導體，平板顯示器和光伏行業的前沿應用。

臭氧氣體輸送系統

臭氧氣體輸送系統-臭氧氣體輸送系統具有MKS的經過現場驗證的高濃度超清潔臭氧產生技術，以及集成的臭氧濃度監控器、流量控制和配電。一些型號的附加功能包括安全監控器、狀態指示器和臭氧破壞器。

緊湊型O3MEGA?集成臭氧解決方案提供了O2和摻雜氣體種類的流量控制和電子壓力控制器。O3MEGA子系統的設計具有很大的靈活性，是目前很小、很完整的臭氧輸送系統。

SEMOZON AX8580是一款完全集成的模塊化臭氧系統，可配備多達(4)個AX8415發生器，并配置為多通道系統，可提供很多4通道的臭氧，支持多個室或多個工具。在峰值系統配置下，流量可達50 slm，濃度大于400 g/Nm3。還提供了一個可選的機架內冷水機超高濃度和延長發電機壽命。

臭氧水生成器

臭氧消毒-臭氧是目前商業上可用的很強的氧化劑，用于水處理。臭氧消毒降低了運行成本，提高了正常運行時間，并且不需要沖洗去除化學殘留物。臭氧是一種綠色化學物質，它能衰變為氧氣，除了破壞活的微生物外，還能減少TOC和內毒素。LIQUOZON Ultra系統是UL和CE Mark認證的自動臭氧產生和注入系統，用于工藝水系統、儲罐和配電線路的消毒。這種集成系統提供了一種清潔、安全、高效的化學水處理系統的替代方案，使您能夠很大限度地降低運營成本，很大化正常運行時間。EO3臭氧發生器和系統每天提供0.5-3磅(ppd)臭氧用于消毒需求。專為具有挑戰性的環境設計，如食品和飲料和生物制藥行業，這種具有成本效益，高質量的臭氧發生器已在世界各地成功使用了近10年。